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CMP Pad Conditioner/bar type

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Product information

(1) 應用多年研究與實作經驗開發出的金屬與陶瓷材料接合技術,NIPPON STEEL Chemical & Material 成功研發出一種獨特的CMP鑽石研磨碟「NS MEDRES」。

(2) 相較他牌鑽石研磨碟更加優異的接合強度,使我們在大型積體電路製造過程中達成了完全防止研磨碟鑽石脫落的成就。

(3) 此外,我們也應用此項接合技術開發了使用較小鑽石的新產品。這項產品滿足了對於增進HD磁盤品質的普遍需求,並且有望提高基材的平坦度、並去除研磨的波紋。

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Technical features

特徵
(1) 防止鑽石掉落造成的研磨率過高

(2) 具有極高的耐腐蝕性,不受塗料影響,可用於氧化膜CMP和金屬CMP

CMP Pad Conditioner 的砂粒直徑
(3) 產品壽命是我們傳統研磨碟的兩倍

(4) 使用最大#1500 的直徑鑽石實現卓越的結合強度